真(zhen)(zhen)空(kong)泵機組是(shi)指利用機械、物(wu)理(li)、化學或物(wu)理(li)化學的(de)方(fang)法對被抽(chou)容器進行(xing)抽(chou)氣而(er)獲得真(zhen)(zhen)空(kong)的(de)器件或設備。通(tong)俗來講，真(zhen)(zhen)空(kong)泵是(shi)用各種方(fang)法在某一封閉(bi)空(kong)間中改善、產(chan)生(sheng)和維持真(zhen)(zhen)空(kong)的(de)裝置。

按真空泵(beng)的工作原理，真空泵(beng)基本上(shang)可(ke)以(yi)分為兩種類型(xing)，即氣體(ti)捕(bu)集泵(beng)和氣體(ti)傳輸泵(beng)。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(ye)。

發展歷史

2SK水環真空泵

隨著真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)應(ying)用的(de)(de)發(fa)展(zhan)，真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵的(de)(de)種(zhong)類(lei)已發(fa)展(zhan)了很多種(zhong)，其(qi)(qi)抽(chou)速從每秒(miao)零(ling)點幾升到每秒(miao)幾十萬(wan)、數百萬(wan)升。隨著真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)技(ji)術在生產和科(ke)學(xue)研究領(ling)域中對其(qi)(qi)應(ying)用壓強范圍(wei)(wei)的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)越來越寬(kuan)(kuan)，大多需(xu)要(yao)(yao)由幾種(zhong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵組(zu)成(cheng)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)抽(chou)氣(qi)系統(tong)共(gong)同(tong)(tong)(tong)抽(chou)氣(qi)后才(cai)能滿足生產和科(ke)學(xue)研究過程的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)，由于真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)應(ying)用部門所涉及(ji)的(de)(de)工(gong)(gong)作壓力的(de)(de)范圍(wei)(wei)很寬(kuan)(kuan)，因此任何一種(zhong)類(lei)型(xing)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵都(dou)不(bu)可(ke)能完全適用于所有的(de)(de)工(gong)(gong)作壓力范圍(wei)(wei)，只能根據不(bu)同(tong)(tong)(tong)的(de)(de)工(gong)(gong)作壓力范圍(wei)(wei)和不(bu)同(tong)(tong)(tong)的(de)(de)工(gong)(gong)作要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)，使用不(bu)同(tong)(tong)(tong)類(lei)型(xing)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵。為(wei)了使用方便和各(ge)種(zhong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)工(gong)(gong)藝過程的(de)(de)需(xu)要(yao)(yao)，有時將各(ge)種(zhong)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵按(an)其(qi)(qi)性能要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)組(zu)合起來，以機組(zu)型(xing)式(shi)應(ying)用。

常(chang)用真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)包(bao)括干式螺桿真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)、水(shui)環泵(beng)(beng)(beng)(beng)、往復泵(beng)(beng)(beng)(beng)、滑閥泵(beng)(beng)(beng)(beng)、旋片泵(beng)(beng)(beng)(beng)、羅茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)和(he)擴散泵(beng)(beng)(beng)(beng)等，這些泵(beng)(beng)(beng)(beng)是(shi)我(wo)國國民經濟(ji)各行(xing)業(ye)應(ying)用真(zhen)空工藝過程中必不可(ke)少的(de)主力(li)泵(beng)(beng)(beng)(beng)種。近(jin)年(nian)來， 伴隨著我(wo)國經濟(ji)持(chi)續高速發(fa)展(zhan)(zhan)，真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)相關(guan)下游應(ying)用行(xing)業(ye)保持(chi)快(kuai)速增長(chang)勢頭，同時(shi)在真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)應(ying)用領(ling)域不斷拓展(zhan)(zhan)等因素的(de)共同拉動下，我(wo)國真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)(beng)行(xing)業(ye)實現(xian)了持(chi)續穩定地(di)快(kuai)速的(de)發(fa)展(zhan)(zhan)。 

結構特點

1)泵總體結構型式

真空泵(beng)的(de)泵(beng)體的(de)布置結構決定了泵(beng)的(de)總體結構。

立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較(jiao)(jiao)方便。但泵的較(jiao)(jiao)高(gao)(gao)，在(zai)高(gao)(gao)速(su)運轉時穩定性差，故這(zhe)種(zhong)型(xing)式多用于小泵。

臥式泵的進氣口(kou)在上，排(pai)氣口(kou)在下。有時為了真空(kong)系統管(guan)道安裝連接方便，可(ke)將排(pai)氣口(kou)從水平(ping)方向(xiang)(xiang)接出，即進、排(pai)氣方向(xiang)(xiang)是相互垂直的。此時，排(pai)氣口(kou)可(ke)以從左或右兩個方向(xiang)(xiang)開口(kou)，除(chu)接排(pai)氣管(guan)道一(yi)端外，另一(yi)端堵死或接旁(pang)通(tong)閥。這(zhe)種泵結構(gou)低，高速(su)運轉時穩定性好。一(yi)般(ban)大、中型泵多采用此種結構(gou)。

泵的兩個(ge)轉(zhuan)子(zi)軸與水平面(mian)垂直安(an)裝(zhuang)。這種結構(gou)裝(zhuang)配間隙容(rong)易控制(zhi)，轉(zhuan)子(zi)裝(zhuang)配方(fang)便，泵占(zhan)地(di)面(mian)積小。但泵較高且齒輪拆(chai)裝(zhuang)不便，潤滑機構(gou)也相對復雜。

2)泵(beng)的傳動(dong)方式

真空泵(beng)的(de)(de)(de)(de)兩(liang)個(ge)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)是(shi)通過(guo)一(yi)對高(gao)精(jing)度(du)齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)來實現其相對同步運(yun)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)(de)。主(zhu)動(dong)(dong)(dong)軸通過(guo)聯軸器(qi)與電機(ji)聯接。在傳動(dong)(dong)(dong)結(jie)構(gou)布置上(shang)主(zhu)要(yao)有(you)以下兩(liang)種：其一(yi)是(shi)電動(dong)(dong)(dong)機(ji)與齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)放(fang)在轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)同一(yi)側(ce)如(ru)圖。從動(dong)(dong)(dong)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)由電動(dong)(dong)(dong)機(ji)端齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)直(zhi)接傳過(guo)去帶動(dong)(dong)(dong)，這樣主(zhu)動(dong)(dong)(dong)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)軸的(de)(de)(de)(de)扭轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)變形小，則兩(liang)個(ge)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之間(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)間(jian)(jian)隙(xi)不會因主(zhu)動(dong)(dong)(dong)軸的(de)(de)(de)(de)扭轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)變形大而改(gai)變，故使轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之間(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)間(jian)(jian)隙(xi)在運(yun)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)過(guo)程中均勻。這種傳動(dong)(dong)(dong)方式的(de)(de)(de)(de)缺點是(shi)：a.主(zhu)動(dong)(dong)(dong)軸上(shang)有(you)三個(ge)軸承，增(zeng)加(jia)了泵(beng)的(de)(de)(de)(de)加(jia)工(gong)和裝配難度(du)，齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)的(de)(de)(de)(de)拆裝及調整(zheng)也不便(bian)；b.整(zheng)體結(jie)構(gou)不勻稱，泵(beng)的(de)(de)(de)(de)偏向電動(dong)(dong)(dong)機(ji)和齒(chi)(chi)(chi)輪(lun)箱一(yi)側(ce)。

特點

(1)在(zai)較寬(kuan)的壓力(li)范圍(wei)內有較大(da)的抽速；

(2)轉(zhuan)(zhuan)子(zi)具(ju)有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuan)(zhuan)平(ping)穩。轉(zhuan)(zhuan)子(zi)間(jian)及轉(zhuan)(zhuan)子(zi)和殼體間(jian)均有間(jian)隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉(zhuan)(zhuan)速；

(3)泵腔(qiang)內(nei)無(wu)需(xu)用(yong)油(you)密封和(he)潤(run)滑，可減少(shao)油(you)蒸氣(qi)對真空系統(tong)的(de)污染；

(4)泵腔內無壓(ya)縮，無排氣(qi)閥(fa)。結構簡單(dan)、緊湊，對被抽(chou)氣(qi)體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子(zi)表(biao)面為形狀較為復雜的曲線(xian)柱面，加工和檢查比較困(kun)難(nan)。